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Artikel und Hintergründe zum Thema

Wälzkolbenpumpen

(Wälzkolbenpumpe)

Wälzkolbenpumpen

Für den Reinraum

Die Trockenläufer A 100 L mit kompakten Abmessungen wurden von Pfeiffer Vacuum zur flexiblen Integration in Halbleiterproduktionsanlagen entwickelt. Die ölfreien mehrstufigen Wälzkolbenpumpen sind ideal für saubere Anwendungen wie Schleusen- und Transferkammern sowie für alle anderen nicht korrosiven Anwendungen.

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Wälzkolbenpumpe

Hohe Differenzdrücke

bei geringem Stromverbrauch – das sind die wesentlichen Fakten der gasgekühlten Wälzkolbenpumpe Okta Line G von Pfeiffer Vacuum. Große Druckbereiche und maximale Kompressionsverhältnisse sind der ideale Einsatzort für diese Pumpe.

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Wälzkolbenpumpen

Kühlen mit Gas

Gasgekühlte Wälzkolbenpumpen sind in den letzten Jahren eher in den Hintergrund getreten. An ihrer Stelle werden meist Dampfstrahl-Vakuumpumpen eingesetzt. Sie bieten zwar ein hohes Saugvermögen bei hohen Druckdifferenzen, aber dafür muss auch Dampf in ausreichender Menge zur Verfügung stehen.
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Kurzschluss

Hermetisch abgedichtet

sind die Motoren der neuen Wälzkolbenpumpen-Baureihe Ruvac WH von Oerlikon Leybold Vacuum für Solar- und Beschichtungsprozesse sowie industrielle Anwendungen. Die WH 4400- und WH 7000-Pumpen bieten ein neues Leistungsniveau in Form von kompakten, robusten, energieeffizienten und einfach integrierbaren Vakuumlösungen.

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