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Artikel und Hintergründe zum Thema

Halbleitertechnik

(Halbleitertechniken, Halbleitertechnologie, Halbleitertechnologien)

Turbopumpen

Ein hohes Saugvermögen

bieten die vier neuen Baugrößen der Serie Hipace Turbopumpen von Pfeiffer Vacuum. Sie zeichnen sich durch hohes Saugvermögen für leichte (H2, He) und schwere Gase (Ar, CF4) aus. Auch bei schweren Gasen erreichen sie hohe Durchsätze.

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Turbopumpen

Hasen

werden umgangssprachlich die Läufer genannt, die bei Rennen, wie dem Marathon, das Tempo hochhalten und so Rekordzeiten in der Leichtathletik ermöglichen. Die „Hasen“ in der Analytik, Vakuumprozess- und Halbleitertechnik sind die neuen Turbopumpen von Pfeiffer Vacuum.

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