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Artikel und Hintergründe zum Thema

Gasanalysesysteme

Gasanalysesysteme

Hohe Messgeschwindigkeit

Pfeiffer Vacuum bietet mit den Gasanalysesystemen Sputter Process Monitor SPM 220 und High Pressure Analyzer HPA 220 zwei Neuheiten. Beide Lösungen basieren auf dem bewährten Massenspektrometer Prisma Plus in Kombination mit einem trocken verdichtenden Hi-Pace-Turbopumpstand.

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Gasanalysesysteme

Zur Identifikation unbekannter

Gase eignen sich die neuen Gasanalysesysteme Omni Star und Thermo Star der Pfeiffer Vacuum GmbH. Mit den beiden Benchtop-Analysesystemen kann die Überwachung der Prozessanalyse für bis zu 128 verschiedene Gase genau durchgeführt werden.

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