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Manufacturing-Execution-SystemeDie selbstregelnde Fabrik

Mobile MES-Anwendungen mit Hydra von MPDV

Begriffe wie Selbstregelung, Selbstoptimierung oder selbstlernende Maschinen tauchten bereits in den Anfängen der Industrie 4.0 auf. Sie halten sich hartnäckig, werden in jüngster Zeit sogar häufiger genannt.

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Fünf-Kammer-SputtersystemEine neue Anlagengeneration

in die industrielle Produktion überführt hat die VTD Vakuumtechnik Dresden.

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Fünf-Kammer-Sputtersystem: Eine neue Anlagengeneration

Der Spezialist für Systementwicklungen auf dem Gebiet der Oberflächentechnik hat dieses vollautomatische Fünf-Kammer-Sputtersystem zum Metallisieren von Kunststoff, Glas, Keramik oder Metall für die Einbindung in Taktstraßen konzipiert. Der Substrattransport erfolgt horizontal. Es minimieren sich die Anforderungen an die Halterungen und Maskierungen der Substrate. Damit kommt es zur erheblichen Kosteneinsparungen. Über ein Fördersystem werden die zu metallisierenden Substrate auf einer Trägerpalette der Anlage zugeführt. Ein systeminterner 180°-Umsetzer übernimmt diese Palette und befördert sie in die Ein- beziehungsweise Ausschleuskammer. Von dort erfolgt der Palettentransport zu den einzelnen Prozesskammern. Die sich anschließenden Prozessschritte sind: Aktivierung oder zusätzliche Basecoat-Abscheidung mit einer Mittelfrequenz-Plasmaquelle, Beschichtung der Teile mit zwei parallel angeordneten Sputterquellen, Plasmapolymerisation und Schichtmodifikation mit einer Mittelfrequenz-Plasmaquelle. Jeder Substratträger durchläuft alle Prozessschritte. Dabei laufen die einzelnen Prozesse parallel ab. Das Ergebnis ist eine Zykluszeit von nur 36 Sekunden! ms

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