Nanopositionierer

Von A bis Z

bietet Piezosystem Jena Piezo Aktoren und piezoelektrische Antriebe zur hochpräzisen Mikro- und Nanopositionierung und der Nanoautomatisierung. Jetzt hat das Unternehmen die Serie PXY um einen neuen XY Nanopositionier- und Mikroscanntisch mit großem freien Durchgang erweitert.

Der PXY 201 CAP bietet eine freie Apertur von 30 x 30 mm² und einen Verfahrweg von 250 µm ungeregelt, beziehungsweise 200 µm im geregelten Betrieb. Mittels einer integrierten hochauflösenden kapazitiven Wegmesssensorik können Drift und Hysterese ausgeglichen werden. Das System ermöglicht Positionsstabilität, Linearität, Wiederholbarkeit und Genauigkeit. Dazu erlauben die digitalen Controller des Unternehmens eine Anpassung der Parameter während des Systembetriebs. Infolge der FEM optimierten Festkörpergelenkführung weist das System eine hohe Bahntreue auf. Durch das Framedesign der Führung ist der Nanopositionier- und Mikroscanningtisch sehr robust gegen große Beladungen.

Zum Minimieren von unerwünschten Überschwingen und Verkürzen der Einstellzeiten im Scannbetrieb ist das System mit integrierten passiven Dämpfungselementen ausgestattet. Als Folge wird auch das Positionsrauschen minimiert. Aufgrund dieser Eigenschaften und seiner Zuverlässigkeit ist der Nanopositionierer besonders geeignet für Anwendungen in der Scanningmikroskopie, Oberflächenanalyse, Metrologie und Alignment und im Bereich der Nanopositionierung, wo sub-nm- Genauigkeiten und großer innerer Freiraum gefordert werden. Vakuum- und Tieftemperaturanpassungen sind verfügbar, ebenso wie Materialvariationen von Invar, Super-Invar, Aluminium oder Titan.

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Neben den Piezoantrieben bietet die Firma auch optische Faserschalter sowie die passenden Elektroniken an. Die langjährige Erfahrung in der Entwicklung und Produktion ermöglichen ihre besonderen Systemlösungen. ee

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