3D-Messmikroskop

Mit dem berührungslos messenden

optischen Profilometer Plu Neox von Sensofar präsentiert Schaefer Technologie eine neue Entwicklung, die Interferometrie, Konfokaltechnik und Auflichtmikroskopie in einem kompakten Messgerät vereint. Das 3D-Messmikroskop mit einer patentierten Displaytechnik gestattet den Wechsel zwischen den verschiedenen Messtechniken innerhalb weniger Sekunden. Somit ist es möglich, innerhalb kürzester Zeit ein äußerst breites Spektrum unterschiedlichster Proben zu vermessen.

Das Plu Neox wurde entwickelt, um eine schnelle, berührungslose Messung von Oberflächen mit unterschiedlichsten Beschaffenheiten im Mikro- und Nano-Bereich vorzunehmen. Das Einsatzgebiet reicht dabei von der Rauheitsmessung auf extrem glatten Oberflächen mit einer vertikalen Auflösung (sub-nanometer) im Interferometriebetrieb bis zur Vermessung extrem rauer, sehr schlecht reflektierender Oberflächen mit Flankenwinkeln von bis zu 70 Grad im Konfokalmodus. Aufgrund der hier verwendeten sehr kurzwelligen blauen LEDs als Beleuchtungseinheit wird auch lateral die höchstmögliche optische Auflösung garantiert. Und das fortschrittliche Beleuchtungskonzept kommt dabei ohne jegliche beweglichen Bauteile im Messkopf aus. Es vermeidet daher die typischen Nachteile herkömmlicher konfokaler Laserscanning oder Nipkowdisk-basierter Systeme. Das neu entwickelte Mikroskop eignet sich für den Einsatz im Bereich Forschung und Entwicklung, für Labors zur Qualitätsinspektion und für kundenspezifische Lösungen, wie beispielsweise zur Qualitätskontrolle in der Produktionsumgebung. Die wichtigsten Anwendungen des berührungslos messenden Profilometer sind das Messen von Oberflächentopologie, sehr glatte Oberflächen mit Rauhigkeiten im Nanometer-Bereich, Halbleiterstrukturen sowie dünne und transparente Schichten. st

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