Nanoschichten messen

Nanoschichten industriell messen

Nur wenige Atomlagen dünne Schichten, sogenannte Nanoschichten, bedienen einen rasch wachsenden industriellen Markt. Je nach aufgebrachter Substanz schützen solche Schichten beispielsweise vor Verschleiß, steuern die Lichtdurchlässigkeit, minimieren den Reibwiderstand oder schützen vor Nässe und Schmutz. So vielfältig wie die Eigenschaften der Schichten sind die damit veredelten Produkte – von der CD-ROM über Werkzeuge und Gläser bis hin zu lackierten Kunststoffteilen.

Die speziellen Eigenschaften von Nanoschichten, die sich oft grundlegend von Makroschichten unterscheiden, verursachten allerdings auch besonderen Aufwand bei der Qualitätssicherung. So sollen signifikante Ergebnisse bei Kräften von wenigen Millinewton und Eindringtiefen von wenigen Nanometern ermittelt werden. Waren dieser Aufgabe bisher nur teure aufwändige Laborgeräte gewachsen, gibt es jetzt ein Mikrohärte-Messgerät zu deutlich geringeren Kosten.

Mit seiner speziellen Auswerte-Elektronik und Software löst das System Prüfkräfte bis zu 40 Nano-Newton bei einer gemessenen Eindringtiefe von 20 Pikometer auf. Das obere Ende der Skala sind Prüfkräfte bis 500 Millinewton Eindringkraft bei maximal 700 Mikrometer Eindringtiefe. Automatische, nur wenige Sekunden dauernde Messabläufe qualifizieren das Gerät nicht nur fürs Labor, sondern auch für die produktionsbegleitende Qualitätssicherung. Über einen angeschlossenen PC stehen dann sämtliche statistischen Auswertungen, Protokolle und Dokumentationen zur Verfügung.dr

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