Sensortechnik

Hohe Messrate ohne Optik-Wechsel

Die Sensoren RayDex und StraDex bilden die Basis von Komplettlösungen,die für die Marktsegmente Wafer, Automotive und Mikrosystemtechnik angeboten werden, wie SemDex, F-Dex, KMG-geführter RayDex und Roboter-geführter RayDex. Mit SemDex beispielsweise werden Wafer im Front- und Inverted- Bereich semi-automatisch per Knopfdruck auf verschiedenste Parameter hin vermessen. Bei den Marktsegmenten Automotive / Mikrosystemtechnik und Folien lassen sich die Sensoren einfach in bestehende Produktionsanwendungen integrieren.

Das Unternehmen Isis hat mittlerweile die zweite Sensor-Generation entwickelt, welche sub-µm Genauigkeit über einen großen Arbeitsbereich (bis 20 mm) bei sehr hoher Messrate ohne Optik-Wechsel liefert. Einzel- oder Mehrfachschichten lassen sich genauso vermessen, wie Oberflächenprofile und Rauheiten - hier waren bisher mechanische Tastspitzen oft die einzige Alternative. Darüber hinaus erlauben die RayDex die Vermessung kleinster Innenräume (bis < 1 mm Durchmesser) ohne Qualitätseinbußen. Die sehr hohen Messraten bis maximal 16.000 Messungen/ Sekunde ermöglichen 100-prozentige Qualitätsüberwachung auch in sehr dynamischen Produktionsprozessen.st

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