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Carl Zeiss in Jena: Auftragseingänge im zweistelligen Millionenbereich in der Halbleitersparte

Der Geschäftsbereich Semiconductor Metrology Systems (SMS) von Carl Zeiss, der sich in der Halbleitertechnik auf die Analyse und Reparatur von Photomasken spezialisiert hat, verzeichnete unmittelbar nach der Markteinführung des Geräts Prove einen kräftigen Zuwachs im Auftragseingang. Das Investitionsvolumen der neuen Aufträge umfasst einen zweistelligen Millionenbetrag.

Prove, ein 2D Koordinatenmesssystem für Photomasken, wurde unterdessen bei mehreren Chipherstellern in Asien und USA erfolgreich installiert. "Unsere Kunden bestätigen die einzigartige Leistungsfähigkeit von Prove." kommentiert Dr. Oliver Kienzle, Geschäftsführer der Carl Zeiss SMS GmbH. "Wir freuen uns sehr darüber, dass die eindrucksvollen Messergebnisse weitere Photomaskenhersteller überzeugt haben, unsere Systeme zu kaufen."

Aufgrund der positiven wirtschaftlichen Lage wird die Carl Zeiss SMS ihre Belegschaft am Standort Jena in den kommenden Monaten um rund zehn Prozent aufstocken und die Reinraumkapazitäten erweitern.

Provewurde in Jena innerhalb von drei Jahren in Kooperation mit dem Geschäftsbereich Lithographie-Optik von Carl Zeiss in Oberkochen entwickelt. Die Systeme werden in Jena gefertigt. lg

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