Magnetgelagerte Turbopumpen

Mit integrierter Antriebselektronik

Pfeiffer Vacuum hat die Reihe der magnetgelagerten Turbopumpen mit integrierter Antriebselektronik durch die Himag 3400 erweitert. Die Himag 2400 und 3400 zeichnen sich durch ein besonders hohes Saugvermögen, eine hohe Kompression und einen hohen Gasdurchsatz aus. Außerdem sind sie aufgrund der Schutzklasse IP 54 besonders robust und somit industrietauglich.

Neben industriellen Anwendungen findet die Himag bei Beschichtungsprozessen, in Forschung und Entwicklung sowie in der Halbleiterindustrie ihren Einsatz. Da die hohe Vorvakuumverträglichkeit ohne Holweck- oder Gaedestufe erreicht wird, ist der Einsatz auch in kritischen Prozessen (Partikelbelastung, hohe Gaslasten, korrosive Gase) sichergestellt. Eine permanente Rotorüberwachung über Sensorik unterstützt den stabilen Betrieb der Pumpen in jedem Betriebszustand. Zu dem zuverlässigen Betrieb trägt auch die Wasserkühlung bei, die die Elektronik optimal temperiert. Die Pumpen sind vibrationsarm und damit in Applikationen einsetzbar, in denen geringste Vibrationen im niedrigen Frequenzbereich gefordert werden. Außerdem sind sie aufgrund einer Magnetlagerung wartungsfrei.

Die Himag verfügt über eine integrierte Antriebselektronik. Eine aufwendige Verkabelung und der andernfalls notwendige Platz im Schaltschrank entfallen. Das kombinierte Flut- und Sperrgasventil ermöglicht das Stillsetzen der Pumpen im Bruchteil der Zeit herkömmlicher magnetgelagerter Turbopumpen. Es erlaubt zusätzlich die zuverlässige Steuerung von Sperrgas im Betrieb mit korrosiven oder aggressiven Medien. st

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