Drucksensoren

Die weltweit kleinsten

und wasserdichten piezoresistiven MEMS-Drucksensoren kommen von Alps Electric Europe. Sie werden zur Ermittlung des Absolutdrucks mittels Luft- und Wasserdruck-Messfunktionen eingesetzt. Die Bauelemente zeichnen sich durch ein kompaktes, dünnes Design mit 3,95 Millimeter Durchmesser und 1,85 Millimeter Bauhöhe aus. Der messbare Druckbereich liegt zwischen 50 und 110 kPa, 50 und 200 kPa oder 100 und 500 kPa. Das Spektrum von Drucksensoren erstreckt sich in immer weitere Bereiche, sei es in der Medizin, Industrie, im Automobil und in den letzten Jahren auch auf Konsumgüter wie Waschmaschinen. Insbesondere im Kfz-Umfeld werden Drucksensoren zur Ermittlung des Öldrucks in Bremsen und der Servolenkung sowie zur Verbrennungssteuerung in Motoren verwendet. Aber auch der Einbau in so bekannte Kompaktgeräte wie Digitalkameras und digitale Armbanduhren ist nicht länger ungewöhnlich. Hier finden sie Anwendung in Armbanduhren für den Outdoor-Einsatz oder in Taucheruhren, die den Luft- beziehungsweise Wasserdruck messen. In Digitalkameras und digitalen Camcordern kommen sie für Funktionen wie Farbkorrektur oder zur Ermittlung der Wassertiefe während der Unterwasserphotographie zum Einsatz.

Die Sensoren ermitteln den Druck, indem sie elektrische Signale auslesen, die aus einer Änderung des elektrischen Widerstands resultieren. Diese Widerstandsänderung wird durch externen Druck auf eine Membrane erzeugt, die sich durchbiegt und ein piezoresistives Element verformt, das sich auf der Membrane befindet. Die Flexibilität der Membrane wirkt sich unmittelbar auf den elektrischen Widerstand des piezoresistiven Elements aus, was einen einfachen Aufbau des Elements ermöglicht und diese Sensoren zur idealen Lösung für kompakte Komponenten macht.
Dank der optimalen Verwendung von Strukturen und Materialien, die zur Realisierung wasserdichter Eigenschaften entwickelt wurden, erreichen die HSPPA-Sensoren einen hohen Grad an Wasserfestigkeit, der einen Einsatz bis zu einer Wassertiefe von 50 Meter gestattet. Gleichzeitig wird eine hohe Empfindlichkeit bei der Druckmessung erzielt. st

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