Optische Abstandsmessung

Konfokal Abstände messen

Bei der optischen Abstandsmessung muss es nicht immer ein Laser sein: Ein optisches Sensorsystem erlaubt hochpräzise Messungen mit polychromatischem Licht. Ohne die für Laser typischen Schutzvorkehrungen misst das konfokale System Wege und Abstände sowohl gegen diffus reflektierende als auch spiegelnde Oberflächen mit hoher Präzision. Dazu wird das weiße Licht in Messrichtung in seine Spektralfarben aufgespalten und diese wiederum über die werkseitige Kalibrierung einem Abstand zugeordnet.

Das komplette System besteht aus einem Controller und einem damit über einen Lichtleiter verbundenen Sensor. Da der Durchmesser des Messpunkts bei variierenden Messabständen konstant bleibt und Abstandsänderungen bis drei Nanometer erkannt werden, eignet sich das System besonders für die dreidimensionale Messung von Oberflächen. Durch den kompakten, konzentrischen Strahlengang lassen sich auch Bohrungen genau messen, da das bei Triangulations-Sensoren auftretende Abschattungsproblem entfällt. Die konfokal arbeitenden Sensoren decken Messbereiche von 80 Mikrometer bis 24 Millimeter ab.

Doch die Anwendungen gehen über die reine Abstandsmessung hinaus. So ist die Dicke von Folien, Platten oder Schichten mit nur einem Sensor zu messen. In diesem Fall wird die Reflexion der Fokuspunkte auf der vorderen und hinteren Glasfläche ausgewertet. Mit Messraten bis 1000 Hertz genügt die Schnelligkeit des Systems auch für dynamische Aufgaben.dr

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