Turbopumpen
Innovative Vakuumlösungen
Leistungsstarke Turbopumpen zur Vakuumbeschichtung in der LED- und Flachbildschirmtechnologie bietet Pfeiffer Vacuum. Die Turbopumpen sind dank Alu-Gehäuse extrem leicht und zeichnen sich durch hohes Saugvermögen, maximalen Gasdurchsatz und sehr gutes Kompressionsvermögen für leichte (H2, He) und schwere Gase (Ar, CF4) aus. Ein Sperrgasanschluss schützt die Lager vor Partikeln und reaktiven Gasen. jg
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