Neigungssensoren

Drei mal drei Millimeter

groß sind die neuen Neigungssensoren, die Gemac gemeinsam mit dem Zentrum für Mikrotechnologien (ZfM) der TU Chemnitz und dem Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration (IZM) entwickelt hat. Gegenüber den Vorgängermodellen lösen sie die Signale besser auf und sind robuster – bei reduzierten Produktionskosten. Die Sensoren bestehen aus zwei Chips – einem Siliziumsensor und einem integrierten Schaltkreis zur Signalauswertung. Die Eigenschaften des Siliziumsensors werden mit der patentierten AIM-Technologie (Air gap Insulated Microstructures) erreicht. Die Kammstruktur des Sensorelementes bewegt sich, wenn eine Beschleunigung von außen einwirkt. Diese Bewegung ist so gering, dass bereits ein Staubkorn die Funktion unterbrechen würde.

Ein spezieller Schaltkreis von Gemac sorgt für eine fünfmal schnellere Auswertung der Signale als bisher. Beide Chips sind in einem Keramikgehäuse verschlossen und damit gegen äußere Einflüsse geschützt. Eingesetzt werden die Neigungssensoren unter anderem zur Überwachung und Steuerung von Baumaschinen, Kränen, Schiffen, selbst ausrichtenden Solaranlagen, Bohrinseln oder Mähdreschern. st

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