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Antriebstechnik von Siemens und RockwellVom Hybridsystem zum doppelten Standard

Karl-Heinz Klumpe

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2-Achsen StellsystemStellweg bis 100 µm

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Antriebstechnik (AT),: Stellweg bis 100 µm

Das neu entwickelte Piezo-Positioniersystem wird mit einem Stellweg von 100 µm angeboten. Festkörpergelenke in Parallelogrammanordnung sichern eine spielfreie, hochparallele Bewegung in x- und y-Richtung. Die Step-Auflösungen piezoelektrischer Antriebe übertreffen die der mechanischen Systeme um ein Vielfaches. Ein integriertes kapazitives Wegmesssystem garantiert eine extrem hohe Positioniergenauigkeit im sub-nm-Bereich. Aufgrund seiner Bauform lässt sich dieses System leicht mit mechanischen oder elektromotorischen Systemen kombinieren; somit sind Präzisionspositionierungen über große Strecken realisierbar. Die zentrale Durchgangsbohrung von neun Millimeter dient dem Licht- beziehungsweise Komponentendurchlass. Da die Systeme der neuen Serie hervorragende dynamische Eigenschaften besitzen, eignen sie sich besonders für den Einsatz bei Scanfunktionen. Anwendung sind neben den typischen Einsatzbereichen wie Optik, Faserpositionierung und Lasertechnik auch der mikroskopische Bereich. Realisiert werden zweidimensionale Scanbewegungen in der Probenpositionierung. st

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